特許
J-GLOBAL ID:200903050448979671

レ-ザビ-ムスキャナ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 川瀬 茂樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-148822
公開番号(公開出願番号):特開平5-318161
出願日: 1992年05月15日
公開日(公表日): 1993年12月03日
要約:
【要約】【目的】 大出力の炭酸ガスレ-ザまたはYAGレ-ザで被加工物を溶接,熱処理する際、ビ-ムをスキャンする方が好都合であることがある。従来レンズを振る機構や、ミラ-を揺動する機構があった。これらは小出力のレ-ザに用いられている。いずれも冷却に難点があり、大出力のレ-ザには適用困難である。【構成】 初めに固定された放物面鏡でビ-ムを反射する。ついで揺動ミラ-によってビ-ムを反射する。ガルバノメ-タによって揺動ミラ-を揺動する。揺動ミラ-の背面の中央に冷却水の出入口を設ける。冷却水はコイル状のホ-スによって送給排出する。放熱が良いのでガルバノメ-タが故障しない。
請求項(抜粋):
大出力の炭酸ガスレ-ザまたはYAGレ-ザの光を被加工物にあて溶接、熱処理をおこなう装置に於いて、レ-ザ光を収束させスキャンしながら被加工物に当てる光学系であって、軸線が入射レ-ザ光と平行に設置された放物面鏡と、放物面鏡で反射された光を再び反射し被加工物に当てるために設けられる揺動ミラ-と、揺動ミラ-を支持してこれを微小角度範囲で揺動させるガルバノメ-タと、揺動ミラ-の内部に冷却水を通してこれを冷却する冷却機構とを含み、冷却機構は冷却水を揺動ミラ-の内部に送給し排出するために揺動ミラ-の背面に設けられた冷却水入口、冷却水出口と、これにつながるコイル状のチュ-ブよりなる事を特徴とするレ-ザビ-ムスキャナ。
IPC (3件):
B23K 26/08 ,  G02B 26/10 104 ,  H01S 3/101
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭60-027491
  • 特開昭60-027491
  • 特開昭63-093494

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