特許

J-GLOBAL ID：200903050454869683

流体軸受装置、およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法

発明者： 井上 充
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-138248
公開番号（公開出願番号）：特開2002-333018
出願日： 2001年05月09日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：

【要約】【課題】 静圧発生部と予圧発生部を同一位置にすることで軸受性能を向上させる。【解決手段】 磁性体からなるガイド1の案内面1aに対向する静圧軸受パッド3の軸受面を、一対の永久磁石31、32によって構成し、破線で示す方向に磁束を有する磁気回路の磁気吸引力によって軸受間隙の加圧流体に予圧を付与する。各永久磁石31、32の背面側に介在させたヨーク33、34の間の空隙sの寸法を、くさび部材35を出入することで調整し、予圧分布を調節して姿勢調整を行なうことができる。

請求項（抜粋）：

案内面を有するガイドと、前記案内面に対向する軸受面を有する静圧軸受パッドと、該静圧軸受パッドの前記軸受面に開口する開口手段を通って前記案内面と前記軸受面の間の軸受間隙に動作流体を供給する流体供給手段を有し、前記案内面と前記軸受面がそれぞれ磁気手段であって、前記軸受間隙を通る磁束による磁気吸引力を発生させる磁気回路を構成することを特徴とする流体軸受装置。

IPC (6件)：

F16C 32/00 ,  F16C 32/04 ,  F16C 32/06 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

F16C 32/00 C ,  F16C 32/04 Z ,  F16C 32/06 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (14件)：

3J102AA01 ,  3J102AA02 ,  3J102BA05 ,  3J102CA36 ,  3J102DA10 ,  3J102DA26 ,  3J102EA18 ,  3J102GA18 ,  5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031KA06 ,  5F031LA04 ,  5F046CC03 ,  5F046CC17