特許
J-GLOBAL ID：200903050455437507
磁気浮上スライダの制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-158683
公開番号（公開出願番号）：特開平5-015008
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：
【要約】【目的】 この発明は可動子に外乱が与えられるのを抑制し、システムの拡張性,組立性が容易な磁気浮上スライダの制御装置を提供することを主要な特徴とする。【構成】 センサヘッド2a〜2fのうち、切換え前と切換え後における信号の差をオペアンプ11,21で検出し、ローパスフィルタを通過させた後、オペアンプ14,24でそれぞれ目標値の入力を加算し、その後センサヘッド2a〜2fを切換えることにより、外乱をローパスフィルタで抑制し、可動子3に与える影響を少なくする。
請求項（抜粋）：
固定子側に複数の変位検出用センサヘッドと、複数の制御用電磁石とを並べて配置し、可動子の進行方向位置によって前記複数の変位検出用センサヘッドのいずれかを選択的に切換え、前記可動子上の一定の位置に置かれたセンサターゲットの変位を検出し、浮上制御を行なう磁気浮上スライダの制御装置において、前記変位検出用センサヘッドの切換え前と切換え後における変位検出用センサヘッドからの信号の差を検出するための検出手段、および1次遅れ要素を含み、前記検出手段の出力信号が通されるローパスフィルタを備え、前記ローパスフィルタの出力信号を目標値入力に加算し、その後前記変位検出用センサの切換え動作を行なうことを特徴とする、磁気浮上スライダの制御装置。
IPC (4件)：
B60L 13/06
, F16C 32/04
, G05D 3/12
, G05D 3/12 305
