特許
J-GLOBAL ID：200903050458807682
薄膜型変位センサーを設けたカンチレバー
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-175368
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027559
出願日： 1993年07月15日
公開日（公表日）： 1995年01月27日
要約：
【要約】【目的】 小型化かつ操作性に優れた、原子間力顕微鏡等に用いられるカンチレバーを提供する。【構成】 カンチレバーの可撓性プレート上に、それぞれ下部電極、圧電・電歪特性を持つ中間層、上部電極からなる薄膜型変位センサー及び薄膜型アクチュエータを設ける。
請求項（抜粋）：
可撓性プレートとその先端付近に固定された針状チップとからなり、前記可撓性プレート上に、第1の下部電極、圧電または電歪特性を持つ第1の中間層、及び第1の上部電極からなる薄膜型変位センサーを取り付けたカンチレバーにおいて、前記可撓性プレート上に第2の下部電極、圧電または電歪特性を持つ第2の中間層、及び第2の上部電極からなる薄膜型アクチュエータを設けることを特徴とするカンチレバー。
IPC (2件)：
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