特許
J-GLOBAL ID:200903050460230694
座標測定装置のプローブヘッド
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-172438
公開番号(公開出願番号):特開平8-043066
出願日: 1995年07月07日
公開日(公表日): 1996年02月16日
要約:
【要約】【目的】 プローブヘッドの変位可能な部分の変位量の測定のための測定機構、及び設定可能な大きさ及び方向の測定力の発生のための電磁式の測定力発生器(15-17)を有する測定式のプローブヘッドを改善して、該プローブヘッドが変位可能なプローブピン保持体の運動の減衰のため並びにクランプのための装置を備えていて、できるだけ簡単な構造でありかつ可変的に使用できるようにする。【構成】 測定力発生器が直接に種々の変位方向(x,y,z)のための案内(4,9,10)に配置されており、拘束もしくはクランプのための装置が電子的な制御回路によって形成されており、該制御回路が変位可能な部分(10)の変位と逆向きの信号を測定力発生器に加えるようになっている。
請求項(抜粋):
座標測定装置のプローブヘッドであって、プローブヘッドの変位可能な部分の変位量の測定のための測定機構(21-23)、設定可能な大きさ及び方向の測定力の発生のための電磁式の測定力発生器(15-17)、並びに変位可能な部分の設定可能な方向での拘束若しくはクランプのための装置を有しており、-プローブヘッドの変位可能な部分(10)が案内機構を介して種々の方向に変位するようになっており、測定力発生器が直接に種々の方向(x,y,z)のための案内に配置されており、-拘束若しくはクランプのための装置が電子的な制御回路(43)を有しており、該制御回路が変位可能な部分の変位と逆向きの信号を測定力発生器に加えるようになっており、-プローブヘッドが変位可能な部分のための単数若しくは複数の電磁式の減衰装置(29,44)を有していることを特徴とする、座標測定装置のプローブヘッド。
IPC (3件):
G01B 21/00
, G01B 7/00
, G01B 7/28
引用特許:
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