特許

J-GLOBAL ID：200903050461685989

ビーム位置モニタ及びビーム位置測定方法

発明者： 中西 哲也
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-231771
公開番号（公開出願番号）：特開平6-076999
出願日： 1992年08月31日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【構成】 複数個の電極4A〜4Dを備え、内部を通過するビームが各電極4A〜4Dに誘起する第1の電圧比を求めることによりビームの位置を測定するものであり、第1の電圧比が、ビームの位置に置かれるアンテナ10が各電極4A〜4Dに誘起する第2の電圧比を用いて校正されるビーム位置モニタ2であって、アンテナ10の断面をビームの断面と同じ大きさにしたことを特徴としている。【効果】 ビーム径が大きく、かつ、ビームの中心がビーム位置モニタ2の中心と異なる場合においても正確な測定を行うことができるという効果がある。

請求項（抜粋）：

複数個の電極を備え、内部を通過するビームが各前記電極に誘起する第1の電圧比を求め、この第1の電圧比から前記ビームの位置を測定するものであって、前記第1の電圧比は、前記ビームの位置に置かれるアンテナが各前記電極に誘起する第2の電圧比を用いて校正されるビーム位置モニタにおいて、前記アンテナの断面を前記ビームの断面と同じ大きさにしたことを特徴とするビーム位置モニタ。

IPC (3件)：

H05H 13/04 ,  G01T 1/29 ,  H05H 7/00