特許

J-GLOBAL ID：200903050462602548

感光性樹脂組成物

発明者： 萩尾 滋 ,  孝田 和彦 ,  上原 真一
出願人/特許権者： サンノプコ株式会社
代理人 (1件)： 船越 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-262702
公開番号（公開出願番号）：特開平6-095382
出願日： 1991年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマーと熱硬化性樹脂を用いることにより、アルカリ性水溶液による現像性を有し、かつ、感度、解像度、耐無電解めっき液性に優れた感光性樹脂組成物を得ることができる。【構成】 尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、キシレン樹脂、フラン樹脂、尿素とホルムアルデヒドの縮合物、カルバミン酸エステルとホルムアルデヒドの縮合物から選ばれる熱硬化性樹脂、アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマー、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物である。

請求項（抜粋）：

A.アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマー、B.尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、キシレン樹脂、フラン樹脂、下記一般式化1で表される化合物、【化1】(ただし、Rは水素またはアルキル基を示す。)および、下記一般式化2で表される化合物【化2】(ただし、Rは水素またはアルキル基を示す。)より選ばれる少なくとも1種以上の熱硬化性化合物、C.少なくとも2個のエチレン性不飽和結合を有し、光重合開始剤により重合体の形成が可能な常温で液体または固体のエチレン性不飽和化合物、および、D.光重合性開始剤からなる感光性樹脂組成物。

IPC (10件)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 505 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/18 ,  H05K 3/28