特許
J-GLOBAL ID：200903050465809046
質量分析装置及びイオン源
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-058527
公開番号（公開出願番号）：特開平7-307140
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】【目的】質量分析装置におけるイオンビームの発散角とビーム幅の制約を同時に満足させ収束性の優れた良質のイオンビームを得る。【構成】電子衝撃イオン化イオン源1のリペラ電極1fの電圧12dをイオン源状態監視部11に入力し、監視部11は引出電極1gへの印加電圧の予測値12eを引出電源9に出力する。引出電極系は加速電極1bのスリット幅を引出電極1gのスリット幅よりも広くし、かつ加速電極1bからイオンの生成領域までの距離とほぼ等しく設定する。このため、加速電極1bのスリットからイオン化室1a内へ漏れた電界はイオンの生成領域近傍まで広がり、イオンビーム2を効率良く引き出し、加速電極1b及び引出電極1gのスリットを透過させることができる。スリットを透過した電流量をイオン電流モニタ8aで測定し、この電流が最大となるように収束電極1dの電圧12fを調整する。
請求項（抜粋）：
イオン生成領域で生成したイオンを加速電極のスリットから引き出してイオンビームとし、該イオンビームを収束電極で収束して出射スリットから出射するイオン源において、前記加速電極のスリットから引き出されたイオンビームのクロスオーバー点を前記加速電極から所要距離だけ引き離すための引出電極を、前記加速電極の下流近傍に設けたことを特徴とするイオン源。
IPC (4件)：
H01J 49/14
, G01N 27/62
, H01J 37/08
, H01J 49/32
