特許

J-GLOBAL ID：200903050467508892

欠陥判別方法

発明者： 西 重幸 ,  吉村 剛治
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-000568
公開番号（公開出願番号）：特開平8-190633
出願日： 1995年01月06日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【目的】 蛍光浸透による欠陥検査において、画像処理により重大欠陥を確実に判別できる欠陥判別方法を提供する。【構成】 画像処理装置において、ワーク全面について微分処理を行い、水平方向及び垂直方向に走査し両方向についてワーク輪郭を代表する点を求め、この点を基準にして、輪郭領域と、この輪郭領域にかこまれる内面領域に分割し、それぞれの輪郭領域毎に、改めて輪郭走査して輪郭近似式を求め、該輪郭近似式を用いてワーク輪郭を消去して欠陥画像のみを残し、該欠陥画像について特徴量を計測し、予め求めた欠陥判定チャートに照らして欠陥を判別する手段を有している。

請求項（抜粋）：

蛍光液を浸透させたワークの表面に紫外光を照射し、該ワーク表面の蛍光模様を撮像して画像信号に変換し、該画像信号を画像処理装置で処理して該ワーク表面の欠陥を判別する欠陥判別方法において、画像信号を記憶する画像メモリ内の全領域について微分処理を行い、処理後の微分画像から予めワーク固有に設定したワーク輪郭線上の代表点を求め、該輪郭代表点をもとにワーク表面を複数の検査領域に分割し、該検査領域内で輪郭線を含むものは、輪郭画像をもとに算出設定したマスク画像により輪郭線消去処理し、最後に残存画像について特徴量を計測し、前記領域毎に予め決めた欠陥判定論理に照らして欠陥を判別することを特徴とする欠陥判別方法。

IPC (3件)：

G06T 9/20 ,  G01N 21/91 ,  G06T 7/00

FI (3件)：

G06F 15/70 340 ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/70 330 N