特許
J-GLOBAL ID:200903050469601750
微細空間にナノ粒子を導入する方法およびその方法を用いて作製された構造体
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人特許事務所サイクス (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-212394
公開番号(公開出願番号):特開2003-025300
出願日: 2001年07月12日
公開日(公表日): 2003年01月29日
要約:
【要約】【課題】 ナノ粒子を微細空間に安定的に且つ高密度に導入可能な方法を提供する。【解決手段】 幅10〜1000nm、深さ10〜1000nmの微細空間を有する基板の表面に、透過型電子顕微鏡(TEM)で観察した1次粒子間の最近接距離をa(nm)および平均粒子サイズをd(nm)とした場合に、aとdの積が0.5〜100であり、且つdが前記基板の空間の幅の1/100〜1/2であるナノ粒子の分散液を塗布する工程を有する微細空間にナノ粒子を導入する方法である。
請求項(抜粋):
幅10〜1000nm、深さ10〜1000nmの微細空間を有する基板の表面に、透過型電子顕微鏡(TEM)で観察した1次粒子間の最近接距離をa(nm)および平均粒子サイズをd(nm)とした場合に、aとdの積が0.5〜100であり、且つdが前記基板の空間の幅の1/100〜1/2であるナノ粒子の分散液を塗布する工程を有する微細空間にナノ粒子を導入する方法。
IPC (4件):
B82B 3/00
, B01J 19/00
, B05D 1/12
, B05D 7/24 301
FI (4件):
B82B 3/00
, B01J 19/00 K
, B05D 1/12
, B05D 7/24 301 W
Fターム (21件):
4D075DA32
, 4D075DB01
, 4D075DB11
, 4D075DB13
, 4D075DB31
, 4D075DC21
, 4D075DC24
, 4D075DC27
, 4D075EA02
, 4D075EB01
, 4D075EC31
, 4G075AA24
, 4G075AA30
, 4G075BB02
, 4G075BB08
, 4G075BB10
, 4G075BC10
, 4G075BD16
, 4G075BD26
, 4G075FA20
, 4G075FB12
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