特許
J-GLOBAL ID：200903050471483969
ウェーハ・ノッチ研磨機およびウェーハの配向ノッチ研磨方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 森 徹
, 吉田 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-107571
公開番号（公開出願番号）：特開2005-252288
出願日： 2005年04月04日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：
【課題】簡単な機構でシリコンウェーハのノッチを研磨でき、かつ独立ユニットとして、またはウェーハ研削および研磨機に組み込んで使用できるウェーハノッチ研磨機を提供する。【解決手段】ノッチ(11)の両面、すなわち頂面および底面を研磨するものであって、ノッチ(11)に押し当てて研磨する異なる粗さの複数の研磨テープ(19)と、ウェーハ(10)を搭載しテープ(19)に対してXY方向へ移動可能なチャック(16)と、供給リールから繰り出されたテープをウェーハノッチに挿入して押し当てるブロック(41)とで構成される。研磨作業は研磨ベルトを繰り出しながらブロックをウエハに対して上下に振動させ、ウエハはXY方向に微振動させて行う。ブロックはウェーハの頂面に対して角度を有して配置される位置と、ウェーハの底面に対して角度を有して配置される位置との間を揺動されるように取り付けられている。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
周縁ノッチ(11)のあるウェーハ(10)を保持するための平面内にあるチャック(16)と、前記チャック(16)の該平面に対して垂直な軸線に沿って、また前記チャック(16)の該平面に対して垂直な一平面内で角度を有して、前記ノッチ(11)内で研磨のために保持された研磨媒体(12,19)を備えたノーズ面(14,52)を有するブロック(41)を移動させる研磨ユニット(18)と、前記チャック(16)の該平面に対して平行な軸線のまわりに前記ブロック(41)を枢動させる手段(20)と、前記ブロック41が枢動する間前記ブロック(41)の長手方向に前記ブロック(41)を振動させる手段(54)とを備えたウェーハ・ノッチの研磨機。
IPC (3件)：
H01L21/304
, B24B9/00
, B24B21/16
H01L21/304 621E
, B24B9/00 601H
, B24B21/16
3C049AA05
, 3C049AA14
, 3C049AA16
, 3C049AA18
, 3C049CA01
, 3C049CA02
, 3C049CB05
, 3C058AA05
, 3C058AA14
, 3C058AA16
, 3C058AA18
, 3C058CA02
, 3C058CB05
, 3C058DA17
