被蒸着基板の歪み除去方法及びフイルター

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：立花良介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-315307
公開番号（公開出願番号）：特開平5-127018
出願日： 1991年11月02日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】【目的】ダイクロイックフィルター等の反射分光特性を劣化することなく歪みを取り除く。【構成】ダイクロイックフィルター等の裏側面に,基板と略等しい屈折率を有する対称構造の等価屈折膜ユニットを,繰り返し積層し,かつその積層膜の厚さを,基板の表側面の多層膜と略等しくする。等価屈折膜ユニットは,(L/H/L),(H/L/H),(L/M/L)等のように,低屈折率物質(L)と高屈折率物質(H,M)とを対称に組み合わせ,基板と略同じ屈折率にする。【効果】基板の裏側面に,表側面と略同じ厚さの多層膜が積層されるために,歪みは除去される。更に,基板と略同じ多層膜ゆえに反射分光特性は変わらない。

請求項（抜粋）：

表側面に多層膜を蒸着した基板の裏側面に,この多層膜に略等しい厚みを有し,かつ,基板と略同じ等価屈折率を有する多層膜を蒸着することを特徴とする,被蒸着基板の歪み除去方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-296306
特開昭58-217901

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