特許

J-GLOBAL ID：200903050474850784

感光性ポリイミドプリカーサー組成物

発明者： ジエフリー・ドナルド・ジエローム ,  マーテイン・ジヨゼフ・ゴールドバーグ ,  ナンシー・カロリン・ラビアンカ ,  ジエイン・マーガレツト・シヨー
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-252547
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043640
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【構成】 ポリイミドプリカーサーと、第3級アミノ官能基をもつ重合可能なカルボン酸官能性化合物のコムプレックスカチオンとから構成される感光性組成物に関する。【効果】 この感光性組成物は、解像力と感光性とが増強されている。

請求項（抜粋）：

ポリイミドプリカーサーと、反応性の変性剤としての、第3級アミノ官能基をもつ重合可能なカルボン酸官能性化合物のコンプレックスカチオンとから構成される、感光性組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/027 514 ,  C08G 73/10 NTF ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 504

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-127840
  
• 特開昭64-062355