特許
J-GLOBAL ID：200903050485869266
カラーフィルタ用着色ペーストのパターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-096107
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308316
出願日： 1993年04月22日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【構成】本発明は、カルボキシル基を有するポリマを含む感光性あるいは非感光性のカラーフィルタ用着色ペーストを透明基板上に塗布、プリベーク後、選択的に露光し、つづいてアルカリを含む水溶液で現像し、さらにアミノ基を含まない有機溶剤を含む水溶液で現像することを特徴とするカラーフィルタ用着色ペーストのパターン形成方法に関する。【効果】本発明の現像方法によって得られる着色ペーストのパターンは、有機溶剤によって膨潤性が高められ膜の性質が変化し、露光部分と未露光部分の境界が明確になるために切れが良くなり凹凸の無い平坦なエッジが得られる。また現像の許容幅が広がるために歩留りが向上する。その結果、高品質で収率の高いカラーフィルタが製造できる。
請求項（抜粋）：
カルボキシル基を有するポリマを含む感光性あるいは非感光性のカラーフィルタ用着色ペーストを透明基板上に塗布、プリベーク後、選択的に露光し、つづいてアルカリを含む水溶液で現像し、さらにアミノ基を含まない有機溶剤を含む水溶液で現像することを特徴とするカラーフィルタ用着色ペーストのパターン形成方法。
IPC (2件)：
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
