特許
J-GLOBAL ID：200903050487280316
半導体部品の目視検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北野 好人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-271845
公開番号（公開出願番号）：特開平6-124987
出願日： 1992年10月09日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【目的】伸展されたフィルム上に固定された複数の半導体部品に対して正確に位置決めして効率よく高倍率で目視検査することができる半導体部品の目視検査装置を提供する。【構成】伸展されたフィルム10上に固定された複数の半導体部品12を目視検査する。移動手段16により、複数の半導体部品12が固定されたフィルム10を2次元方向に移動させ、目視手段18、20により、異なる倍率によりフィルム10上の半導体部品12を目視する。複数の半導体部品12が固定されたフィルム10を目視手段18、20により低倍率で目視しながら、移動手段16によりフィルム10を移動させて半導体部品12の位置合わせを行い、続いて、目視手段18、20により高倍率で半導体部品12を目視する。
請求項（抜粋）：
伸展されたフィルム上に固定された複数の半導体部品を目視検査する半導体部品の目視検査装置において、前記複数の半導体部品が固定されたフィルムを2次元方向に移動させる移動手段と、異なる倍率により前記フィルム上の半導体部品を目視する目視手段と、前記複数の半導体部品が固定されたフィルムを前記目視手段により低い倍率で目視しながら、前記移動手段により前記フィルムを移動させて前記半導体部品の位置合わせを行い、前記目視手段により高い倍率で前記半導体部品を目視する制御手段とを有することを特徴とする半導体部品の目視検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01N 21/84
, G06F 15/62 405
