特許
J-GLOBAL ID：200903050487811079
プラズマエッチング用電極板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-064926
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273094
出願日： 1994年04月01日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 エッチング時にウエハ面に落下して付着する粉末粒子の粒子数の少ないプラズマエッチング用電極板を提供する。【構成】 プラズマにより消耗する部位の表面平滑度がRmax10μm以下であるシリコンからなるプラズマエッチング用電極板。
請求項（抜粋）：
プラズマにより消耗する部位の表面平滑度がRmax10μm以下であるシリコンからなるプラズマエッチング用電極板。
IPC (2件)：
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