特許

J-GLOBAL ID：200903050493023406

検査装置

発明者： 藤本 力
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-003303
公開番号（公開出願番号）：特開2003-207539
出願日： 2002年01月10日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：

【要約】【課題】測定精度を低下させる寄生容量などの不具合が生じることを極力抑制できる検査装置を提供する。【解決手段】 金属ブロック1と、該金属ブロック1に形成された貫通孔3に装着された絶縁チューブ6と、該絶縁チューブ6に挿入される信号用プローブ2とによって同軸構造を構成し、信号用プローブの一方端に被検体7に対する接触部を設け、他方端に測定系の信号線と接触する接続部を設けるとともに、被検体7と接触するGND用プローブ4を金属ブロック1に設け、かつ、各プローブ2,4を絶縁板Cで金属ブロック1に押え付けることで、各プローブ2,4の金属ブロック1からの抜け出しを防止する検査装置において、プローブ2,3のうち隣り合うもの同士の間に絶縁板Cを欠除して誘電率を低くした空間部Sを設けている。

請求項（抜粋）：

金属ブロックと、該金属ブロックに形成された貫通孔に装着された絶縁チューブと、該絶縁チューブに挿入される信号用プローブとによって同軸構造を構成し、前記信号用プローブの一方端に被検体に対する接触部を設け、他方端に測定系の信号線と接触する接続部を設けるとともに、前記被検体と接触するGND用プローブを前記金属ブロックに設け、かつ、前記各プローブを絶縁板で前記金属ブロックに押え付けることで、前記各プローブの前記金属ブロックからの抜け出しを防止する検査装置において、前記プローブのうち隣り合うもの同士の間に前記絶縁板を欠除して誘電率を低くした空間部を設けていることを特徴とする検査装置。

IPC (5件)：

G01R 31/26 ,  G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  H01R 13/24 ,  H01R 13/719

FI (5件)：

G01R 31/26 J ,  G01R 1/06 D ,  G01R 1/073 B ,  H01R 13/24 ,  H01R 13/719

Fターム (16件)：

2G003AA00 ,  2G003AG01 ,  2G003AG03 ,  2G003AH09 ,  2G011AA10 ,  2G011AA22 ,  2G011AB06 ,  2G011AB09 ,  2G011AC32 ,  2G011AC33 ,  2G011AF02 ,  5E021FA03 ,  5E021FA14 ,  5E021FB14 ,  5E021FC23 ,  5E021LA01