特許

J-GLOBAL ID：200903050496410486

三次元形状認識センサ

発明者： 糸魚川 貢一 ,  岩田 仁
出願人/特許権者： 株式会社東海理化電機製作所
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-030236
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227630
出願日： 1997年02月14日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】 三次元形状を直接的にかつ高精度で認識することができる三次元形状認識センサを提供すること。【解決手段】 このセンサ1は、複数の感圧センサ部5を備えるセンサチップ4を有する。センサチップ4は、ボディ2におけるチップ接合面S2 に接合される。ボディ2内には、各感圧センサ部5に対応するように複数の圧力伝達孔21が形成される。各圧力伝達孔21内には圧力伝達媒体22が充填される。ボディ2の形状認識面S1 には、各圧力伝達孔21の開口部が形成される。開口部には、圧力伝達媒体22に対して圧力を伝達する受圧体31を配置する。

請求項（抜粋）：

複数の感圧センサ部を備えるセンサチップをボディにおけるチップ接合面に設け、前記各感圧センサ部に対応するように複数の圧力伝達孔を前記ボディ内に形成するとともに、前記各圧力伝達孔内に圧力伝達媒体を充填し、かつ前記ボディの形状認識面にある前記各圧力伝達孔の開口部に、前記圧力伝達媒体に対して圧力を伝達する受圧体を配置したことを特徴とする三次元形状認識センサ。

IPC (3件)：

G01B 21/20 ,  G01L 5/00 101 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01B 21/20 K ,  G01L 5/00 101 Z ,  H01L 29/84 Z