特許

J-GLOBAL ID：200903050497576310

ラッピング装置

発明者： 田中 謙次 ,  安部 正行
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-248570
公開番号（公開出願番号）：特開平6-071555
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【目的】 上下の各プレートの偏摩耗を防止して、高精度のラッピング加工を継続して行うことを可能にする。【構成】 上プレート1と下プレート2との間に配設されたキャリア3に被加工物を装着し、上下の各プレート1,2とキャリア3とを相対移動させることにより、被加工物のラッピングを行うラッピング装置の、上下の各プレート1,2の他の部分より摩耗しやすい部分2bを、他の部分2aを構成する材料より硬度の大きい材料で構成するか、または、他の部分より摩耗しにくい部分1bを、他の部分1aを構成する材料より硬度の小さい材料で構成する。

請求項（抜粋）：

上プレートと下プレートとの間に配設されたキャリアに被加工物を装着し、被加工物と上下の各プレートを互に当接させた状態で、上下のプレートとキャリアとを相対移動させることにより、被加工物のラッピングを行うラッピング装置において、上下の各プレートの他の部分より摩耗しやすい部分を、他の部分を構成する材料より硬度の大きい材料で構成するか、または、他の部分より摩耗しにくい部分を、他の部分を構成する材料より硬度の小さい材料で構成したことを特徴とするラッピング装置。