特許

J-GLOBAL ID：200903050500901325

加速度センサ

発明者： 伊藤 奈津子
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-101466
公開番号（公開出願番号）：特開平7-311217
出願日： 1994年05月17日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：

【要約】【目的】 質量部と支持部とこれらをつなぐ薄膜部から構成された加速度センサにおいて、一軸方向の加速度を正確に検出する加速度センサの提供を目的とする。【構成】 質量部1と支持部2とこれらをつなぐ薄膜部3から構成され、薄膜部3が加速度検出方向へL字形に曲がった形状を持った加速度センサにおいて、支持部2と薄膜部3の接続部に第1ピエゾ抵抗41を、また、質量部と薄膜部の接続部に第2ピエゾ抵抗42を形成したことを特徴とする。これにより、第2ピエゾ抵抗42で検出方向以外の加速度成分による薄膜部3のねじれを検出して第1ピエゾ抵抗41よりの信号に補正をかけ、加速度の方向分離が可能な加速度センサを提供する。

請求項（抜粋）：

質量部と支持部とこれらをつなぐ連続した複数の薄膜部から構成され、かつ、それぞれの薄膜部が加速度に対して異なる感度軸を持つ加速度センサにおいて、前記の薄膜部にピエゾ抵抗を有することを特徴とする加速度センサ。