特許

J-GLOBAL ID：200903050501755900

偏光解析用光学系装置及びこれを用いた偏光解析装置

発明者： 吉田 春雄
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-102958
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278202
出願日： 1995年04月04日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【目的】 高速に高精度に楕円偏光の方位角及び楕円率を測定する偏光解析用光学系装置及びこれを用いた偏光解析装置を提供する。【構成】 この発明は光源11から射出されるコヒーレント光ビームをビームスプリッタ311 で2分岐し、一の光ビームを光周波数シフタ30で光周波数をシフトして参照光ビーム7とする。他の光ビームを円偏光変換器12で円偏光ビーム8としてDUT4又は5に照射し、その透過光ビーム91 あるいは反射光ビーム92 と参照光ビーム7とをビームスプリッタ312 で重ね合わせる。重ね合わせた合成光ビーム10を複屈折型偏光プリズム203 で直交する偏波面成分を分離しそれぞれを光検出器235 及び236 で電気信号に変換し、この電気信号を処理して偏光解析する構成とした。

請求項（抜粋）：

コヒーレント光ビーム(6)を発生する光源(11)と、上記光源(11)からのコヒーレント光ビーム(6)を2分岐するビームスプリッタ(311 )と、上記2分岐された一の光ビームの光周波数をシフトして参照光ビーム(7)を生成する光周波数シフタ(30)と、上記2分岐された他の光ビームを円偏光ビーム(8)に変換する円偏光変換器(12)と、上記円偏光ビーム(8)をDUT(4)に照射して得る上記DUT(4)の透過光ビーム(91 )と上記光周波数をシフトした参照光ビーム(7)とを重ね合わせて合成光ビーム(10)を生成するビームスプリッタ(312 )と、上記ビームスプリッタ(312 )で生成された合成光ビーム(10)の直交する偏波面成分をそれぞれ取り出す複屈折型偏光プリズム(203 )と、上記合成光ビーム(10)から複屈折型偏光プリズム(203 )で取り出した直交する偏波面成分をそれぞれ光電変換する光検出器(235 、236 )と、を具備することを特徴とする偏光解析用光学系装置。

IPC (4件)：

G01J 4/00 ,  G01N 21/21 ,  G02B 5/04 ,  G02B 5/30

FI (4件)：

G01J 4/00 ,  G01N 21/21 Z ,  G02B 5/04 D ,  G02B 5/30