特許
J-GLOBAL ID：200903050502318988
表面検査方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-219021
公開番号（公開出願番号）：特開平8-082603
出願日： 1994年09月13日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 傷の形状に影響されることなく、正確に効率よく表面を検査する。【構成】 試料を一定角度ずつ回転させ、各位置において試料表面で反射される散乱光の有無を検知する処理を1ステップとする。あるステップにおいて散乱光の輝点が検知された場合、この次のステップで検知されるべき、輝点の到達位置を求める。そして、対象となる次のステップでは、求めた到達位置に輝点が位置するか否かを検出する。この処理を繰り返し、所定の連続するステップ数内でのみ輝点が検出された場合には、この輝点を試料表面の傷であると認識する。
請求項（抜粋）：
試料表面に検査光を照射し、この試料表面で反射された前記検査光の散乱光を検出することにより、前記試料表面の傷を検出する表面検査方法であって、(a) 前記試料を所定角度だけ回転させ、この位置において前記試料表面で反射される散乱光の有無を検知する処理を1ステップとして繰り返して実施し、(b) あるステップにおいて前記散乱光の輝点が検知された場合、この散乱光の位置情報を基に、この次のステップ以降において検知されるべき、前記散乱光の輝点の到達位置を演算して求め、(c) 前記次のステップ以降において前記到達位置に前記輝点が位置するか否かを検出し、(d) この結果、所定の連続するステップ数内でのみ前記輝点が検出された場合、前記輝点をこの試料表面の傷であると認識することを特徴とする表面検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G06T 1/00
, G06T 7/00
G06F 15/64 J
, G06F 15/62 405 A
