特許

J-GLOBAL ID：200903050510492504

電子線露光装置

発明者： 川上 研一
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-305684
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163381
出願日： 1992年11月16日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：

【要約】【目的】試料ホルダーを収納する電子線露光装置に関し、露光中の試料の移動を最小限に抑えとともに、極めて位置精度の高い描画を行うこと。【構成】被露光対象となる試料を載せる試料ホルダー1と、前記試料ホルダー1の上に伸縮自在に取付けられ、前記試料ホルダー1よりも熱膨張係数の大きな材料より形成され、上面に複数のマーク5が形成された温度測定器3とを含む。

請求項（抜粋）：

被露光対象となる試料を載せる試料ホルダー(1)と、前記試料ホルダー(1)の上に伸縮自在に取付けられ、前記試料ホルダー(1)よりも熱膨張係数の大きな材料より形成され、上面に複数のマーク(5)が形成された温度測定器(3)とを収納することを特徴とする電子線露光装置。