特許

J-GLOBAL ID：200903050514064400

投影光学系及び該投影光学系を備えた投影露光装置並びにデバイス製造方法

発明者： 御手洗 潔 ,  三澤 純一 ,  高橋 友刀
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-034422
公開番号（公開出願番号）：特開2000-231058
出願日： 1999年02月12日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】【課題】小型・軽量で、大きな開口数を有し、かつ諸収差が良好に補正された投影光学系を提供すること。【解決手段】 第1物体Mの像を第2物体P上に投影する投影光学系において、前記第1物体側から順に、2枚以上の正レンズ成分を含む正屈折力の第1レンズ群G1と、2枚以上の負レンズ成分を含む負屈折力の第2レンズ群とG2、3枚以上の正レンズ成分を含む正屈折力の第3レンズ群G3と、2枚以上の負レンズ成分を含む負屈折力の第4レンズ群G4と、連続した少なくとも6枚以上の正レンズ成分を含む正屈折力の第5レンズ群G5とを有し、前記第4レンズ群G4と第5レンズ群G5との少なくともいずれか一方は少なくとも1面の非球面を有し、所定の条件式を満足する。

請求項（抜粋）：

第1物体の像を第2物体上に投影する投影光学系において、前記第1物体側から順に、2枚以上の正レンズ成分を含む正屈折力の第1レンズ群と、2枚以上の負レンズ成分を含む負屈折力の第2レンズ群と、3枚以上の正レンズ成分を含む正屈折力の第3レンズ群と、2枚以上の負レンズ成分を含む負屈折力の第4レンズ群と、連続した少なくとも6枚以上の正レンズ成分を含む正屈折力の第5レンズ群とを有し、前記第4レンズ群と第5レンズ群との少なくともいずれか一方は少なくとも1面の非球面を有し、前記第5レンズ群は開口絞りを有し、前記第1物体から前記第2物体までの距離をL、前記第4レンズ群の最も前記第2物体側のレンズ成分の前記第2物体側レンズ面の曲率半径をR2,前記第1物体の最大物体高からの主光線が前記第1レンズ群を透過するときの光軸からの最大高さをHGl、前記第1物体の最大物体高からの主光線が前記第3レンズ群を透過するときの光軸からの最大高さをHG3とそれぞれしたとき、(|HG1|-|HG3|)/L>1/1000500<R2の条件を満足することを特徴とする投影光学系。

IPC (4件)：

G02B 13/24 ,  G02B 13/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 13/24 ,  G02B 13/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (17件)：

2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA02 ,  2H087NA04 ,  2H087PA15 ,  2H087PA17 ,  2H087PB20 ,  2H087RA05 ,  2H087RA12 ,  2H087RA32 ,  2H087UA03 ,  5F046BA04 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB12 ,  9A001GG11 ,  9A001GG16