特許

J-GLOBAL ID：200903050516819440

情報記録媒体用ガラス基板の製造方法と研磨装置及び情報記録媒体用ガラス基板

発明者： 堀坂 環樹 ,  鈴木 弘一 ,  南 明秀
出願人/特許権者： HOYA株式会社
代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2003016671
公開番号（公開出願番号）：WO2004-058450
出願日： 2003年12月25日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：

情報記録媒体用ガラス基板は、ガラス素板の表面を研磨することによって製造される。ガラス素板の研磨は、ガラス素板の表面を平滑に粗研磨するための1次研磨処理を施す工程と、粗研磨されたガラス素板の表面をさらに平滑に精密研磨するための2次研磨処理を施す工程との2工程に分けて行われる。2次研磨処理では、発泡体よりなる研磨パッドが使用され、酸化セリウムの砥粒を含む研磨剤を用いる前研磨と、酸化ケイ素の砥粒を含む研磨剤を用いる後研磨とが2段階に分けて行われる。前研磨及び後研磨の間で、洗浄液を用いて前研磨の後のガラス素板を濯ぐためのリンス処理が施され、前研磨の際に研磨パッド内に留まっていた砥粒がリンス処理の際に洗い流される。

請求項（抜粋）：

ガラス素板の表面を研磨することによって製造される情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、 前記研磨は、ガラス素板の表面を平滑に粗研磨するための1次研磨処理を施す工程と、粗研磨されたガラス素板の表面をさらに平滑に精密研磨するための2次研磨処理を施す工程との2工程に分けて行われ、 前記2次研磨処理は、発泡体よりなる研磨パッドを使用して、酸化セリウムの砥粒を含む研磨剤を用いる前研磨と、酸化ケイ素の砥粒を含む研磨剤を用いる後研磨との2段階に分けて行われ、 前研磨及び後研磨の間で、洗浄液を用いて前研磨の後のガラス素板を濯ぐためのリンス処理が施され、前記前研磨の際に研磨パッド内に留まっていた砥粒が前記リンス処理の際に洗い流されることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。

IPC (5件)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  B24B 57/02 ,  G11B 5/73 ,  G11B 5/84

FI (7件)：

B24B37/04 Z ,  B24B37/00 B ,  B24B37/00 C ,  B24B37/00 H ,  B24B57/02 ,  G11B5/73 ,  G11B5/84 A

Fターム (23件)：

3C047FF08 ,  3C047GG15 ,  3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA02 ,  3C058DA17 ,  3C058DA18 ,  5D006CB04 ,  5D006CB07 ,  5D006DA03 ,  5D006FA09 ,  5D112AA02 ,  5D112BA03 ,  5D112BA09 ,  5D112GA02 ,  5D112GA04 ,  5D112GA08 ,  5D112GA09 ,  5D112GA12 ,  5D112GA14 ,  5D112GA16