特許

J-GLOBAL ID：200903050541601000

洗浄装置及び洗浄方法

発明者： 四元 初男
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-342958
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142445
出願日： 2001年11月08日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 高濃度の洗浄水を容易に得ることが出来ると共に洗浄能力の持続時間を長くすることができる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。【解決手段】 オゾン供給源2から供給されるオゾンを洗浄水に溶解するオゾン溶解設備7と、オゾンを含む洗浄水を貯溜すると共に該貯溜した洗浄水に被洗浄物を浸漬する洗浄水槽8とを備えた洗浄装置において、洗浄水は臭化アルカリを含む。

請求項（抜粋）：

オゾン供給源から供給されるオゾンを洗浄水に溶解するオゾン溶解設備と、前記オゾンを含む洗浄水を貯溜すると共に該貯溜した洗浄水に被洗浄物を浸漬する洗浄水槽とを備えた洗浄装置において、前記洗浄水は臭化アルカリを含むことを特徴とする洗浄装置。