特許
J-GLOBAL ID：200903050549124979
圧電体素子及びこれを用いたアクチュエータ並びにインクジェット式記録ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-021855
公開番号（公開出願番号）：特開平10-217458
出願日： 1997年02月04日
公開日（公表日）： 1998年08月18日
要約：
【要約】【課題】 圧電体素子の耐電圧性を向上し、信頼性の高い圧電体素子を提供し、この圧電体素子を用いた信頼性の高いアクチュエータ及びインクジェット式記録ヘッドを提供する。【解決手段】 下電極11と、下電極11上に形成された圧電体膜12と、圧電体膜12上に形成された上電極13と、を備えた圧電体素子10であって、少なくとも圧電体膜12の粒界露出領域に、圧電体膜12より低誘電率を備えた低誘電性物質14を形成した。
請求項（抜粋）：
下電極と、当該下電極上に形成された圧電体膜と、当該圧電体膜上に形成された上電極と、を備えた圧電体素子であって、少なくとも前記圧電体膜の粒界露出領域に、当該圧電体膜より低誘電率を備えた低誘電性物質が形成されてなる圧電体素子。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, H01L 41/09
, H02N 2/00
B41J 3/04 103 D
, H02N 2/00 B
, H01L 41/08 C
