特許
J-GLOBAL ID：200903050557019009
クリーンルーム床パネル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-115597
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312369
出願日： 1992年05月08日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】【目的】クリーンルーム内の生産設備から排出される熱流がクリーンルーム内で対流を生じないようにすることによって他のエリアへの熱の干渉を防ぐ。【構成】ファン付床パネル9を発熱源である生産設備8付近の床パネルとして使用する事により、発生した熱量を発熱源の近傍から強制的に床下に排気する。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内のエアーを床下に戻すためのパンチングパネル構造のクリーンルーム床パネルにおいて、パンチングパネルの裏面にクリーンルーム内のエアーを強制的に床下に戻すためのファンを備え、このファン付パンチングパネルをクリーンルーム床に部分的に配置したことを特徴とするクリーンルーム床パネル。
IPC (2件)：
引用特許：
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