特許
J-GLOBAL ID：200903050560579210
クリーンルーム用ロボット
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-357704
公開番号（公開出願番号）：特開平10-180679
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：
【要約】【目的】フレームのサイズを小さくし、かつ、フレーム内の塵やガスを均一に吸引することができるクリーンルーム用ロボットを提供することを目的としている。【構成】直方体状のフレーム3と、このフレーム3の一端部に設けたモータ5と、軸に中空孔を形成し該中空孔に貫通する複数の吸引口をネジ溝間に設けたボールネジ4と、このボールネジ4に形成した中空孔6に接続される吸引ダクト接続部材10と、ボールネジ4によりフレーム3の長手方向に沿って直線移動するスライダ2とから構成された、従来よりもフレームのサイズが小型化され、かつ、フレーム内の空気をほぼ均一に吸引することができクリーンルーム用ロボット1である。
請求項（抜粋）：
ロボットの保持体である直方体状のフレームと、前記フレームの一端部に設けた駆動用モータと、軸に中空孔を形成し、該中空孔に貫通する複数の吸引口をネジ溝間に設けたボールネジと、前記ボールネジに形成した中空孔に接続される吸引ダクト接続部材と、前記ボールネジにより前記フレームの長手方向に沿って直線移動するスライダとからなることを特徴とするクリーンルーム用ロボット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B25J 19/00 H
, B25J 9/02 A
