特許

J-GLOBAL ID：200903050561623182

シリコンウェーハーキャリア

発明者： 沼田 貴善
出願人/特許権者： 帝人株式会社
代理人 (1件)： 前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-267215
公開番号（公開出願番号）：特開平10-116889
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】 シリコンウェーハーの表面汚れを実質的に生じさせない程度に揮発ガス発生量が抑えられ、かつ高い機械的強度及び耐熱性を備えたシリコンウェーハーキャリアを提供する。【解決手段】 150°Cで60分間熱処理したときに発生する揮発ガスの量が10ppm以下であり、80°Cの超純水の中で120分間浸漬処理したときに溶出するアルカリ金属の量が50ppb以下である熱可塑性ポリエステル樹脂よりなるシリコンウェーハーキャリア。

請求項（抜粋）：

150°Cで60分間熱処理したときに発生する揮発ガスの量が10ppm以下であり、80°Cの超純水の中で120分間浸漬処理したときに溶出するアルカリ金属の量が50ppb以下である熱可塑性ポリエステル樹脂よりなるシリコンウェーハーキャリア。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86 ,  C08G 63/90

FI (3件)：

H01L 21/68 T ,  C08G 63/90 ,  B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (1件)

• シリコンウェーハーキャリア
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-003056   出願人：帝人株式会社