特許

J-GLOBAL ID：200903050573114631

振動板型光ファイバ加速度センサ

発明者： 新藤 雄吾 ,  土橋 孝治 ,  鎌田 弘志 ,  佐藤 陵沢
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-255985
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104056
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】 測定対象物が液体中の場合にも、その振動加速度を検出し、長期的な信頼性が得られる加速度センサ。【解決手段】 入力する測定用レーザ光を2つに分岐して出力する入力側光カプラ2と、振動の印加される円形振動板9に渦巻状に装着された光ファイバで、光カプラ2からの入力光を光カプラ4に出力する光ファイバ3aと、振動の印加で変形しない構造物に巻かれた光ファイバで、光カプラ2からの入力光を光カプラ4に出力する光ファイバ3bと、光ファイバ3aと3bの出力光を結合し、その干渉光を出力する出力側光カプラ4とを備えた振動板型光ファイバ加速度センサ部を含む加速度センサ。

請求項（抜粋）：

測定用レーザ光を振動板型光ファイバ加速度センサ部に入力し、該センサ部が印加された振動に基づき出力する干渉光を光・電気変換した後に復調処理して振動加速度を検出する振動板型光ファイバ加速度センサにおいて、前記振動板型光ファイバ加速度センサ部は、前記入力する測定用レーザ光を2つに分岐して出力し、該2つの出力光をそれぞれ第1の光ファイバ及び第2の光ファイバの一端に導入する入力側光カプラと、周縁部が振動の印加される筐体に取り付けられ、その中心部に錘が装着された円形振動板の片面に渦巻状に光ファイバが装着され、該光ファイバの一端には前記入力側光カプラの出力光が導入され、その他端からの出力光を出力側光カプラの一方に導入する第1の光ファイバと、前記円形振動板が取り付けられた筐体の振動の印加により変形しない箇所に光ファイバが巻回され、該光ファイバの一端には前記入力側光カプラの出力光が導入され、その他端からの出力光を出力側光カプラの他方に導入する第2の光ファイバと、前記第1の光ファイバの出力光と第2の光ファイバの出力光とを結合し、その干渉光を出力する出力側光カプラとを備えたことを特徴とする振動板型光ファイバ加速度センサ。

IPC (3件)：

G01H 9/00 ,  G01P 15/03 ,  G01V 1/16

FI (3件)：

G01H 9/00 E ,  G01P 15/03 C ,  G01V 1/16