特許
J-GLOBAL ID：200903050573136937
表面欠陥撮像方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小杉 佳男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-147756
公開番号（公開出願番号）：特開平8-015177
出願日： 1994年06月29日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】被検査面の表面欠陥を検出する光学的な撮像方法において、方向性のある表面欠陥を良好に撮像でき、製品不良の早期発見、次工程での歩留り向上を図る。【構成】レンズ3の面及び1次元CCD4の検出面を鋼板被検査面2に対して平行に配置し、1次元CCD4の中心とレンズ3の中心を結ぶ主軸7を、鋼板被検査面2の法線8に対して傾いた位置に配置する。視野全体の像が1次元CCD4の検出面上に、像のボケを生じることなく結像する。
請求項（抜粋）：
被検査面の表面欠陥を検出する光学的な撮像方法において、レンズの中心と光検出器の中心とを結ぶ主軸を被検査面の法線に対して傾斜させ、かつ被検査面、レンズ面及び光検出器面を互いに平行に配置して撮像することを特徴とする表面欠陥撮像方法。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G01N 21/88
, G06T 1/00
