特許

J-GLOBAL ID：200903050574903141

バイアホール検査装置

発明者： 岡田 英夫 ,  安藤 護俊
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-077035
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271233
出願日： 1998年03月25日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、絶縁層にバイアホールを開孔した状態で、バイアホールの形状、開孔位置、エッチング残渣を検出し、良否の判定を行うことができるバイアホール検査装置を提供することを課題とする。【解決手段】 バイアホール検査装置100は、基板10に対して所定の入射角度で光を照射する光源11a、11b、基板10からの反射光を集束、観測する集束レンズ12及びCCDカメラ13と、観測された画像信号を二値化する二値化回路21及び記憶回路22と、二値化された画像情報とビットマップデータとの排他的論理和をとり、バイアホールに対応する画像成分のみを抽出する排他的論理回路31と、抽出された画像成分毎にラベリングするラベリング回路32と、画像成分毎に面積を算出し、開孔面積の良否を判定する孔面積判定回路41と、画像成分から開孔位置の良否を判定する孔ずれ検出回路51と、を有して構成されている。

請求項（抜粋）：

所定の形状に形成された金属層上に絶縁層が積層され、前記金属層に連通するように前記絶縁層に開孔されたバイアホールの良否判定を行うバイアホール検査装置において、前記絶縁層に対して、所定の入射角度で照射光を照射し、前記絶縁層からの反射光の明るさを観測して、画像信号として検出する観察手段と、前記観察手段により観測された前記反射光の明るさに基づいて、前記画像信号を二値化して画像情報を生成する二値化手段と、を具備し、前記画像情報に基づいて、前記バイアホールの良否判定を行うことを特徴とするバイアホール検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01N 21/88 F ,  G01B 11/24 C ,  G01B 11/24 K ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 Z