特許
J-GLOBAL ID：200903050581152453
カラーフィルタ検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-266557
公開番号（公開出願番号）：特開平8-128920
出願日： 1994年10月31日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【目的】 色ピクセル毎の欠陥を検出できしかも色ムラをも同時に検出できるカラーフィルタ検査装置を提供する。【構成】 カラーフィルタ基板1の各色ピクセル2を光学的に検査するためのカラーフィルタ検査装置において、カラーフィルタ基板1を挟み、その主走査方向に配置されたライン光源6とラインセンサカメラ群7からなる光学検出手段と、光学検出手段とカラーフィルタ基板1とを副走査方向に相対移動させると共に副走査方向のピクセル毎にそのピクセル情報をラインセンサカメラ群7に取り込むステージ同期コントロール手段10と、ラインセンサカメラ群7からの画像情報を取り込んで各ピクセル2の色ムラや欠陥を検出する画像処理装置群9とを備えたことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
カラーフィルタ基板の各色ピクセルを光学的に検査するためのカラーフィルタ検査装置において、カラーフィルタ基板を挟み、その主走査方向に配置されたライン光源とラインセンサカメラ群からなる光学検出手段と、光学検出手段とカラーフィルタ基板とを副走査方向に相対移動させると共に副走査方向のピクセル毎にそのピクセル情報をラインセンサカメラ群に取り込むステージ同期コントロール手段と、ラインセンサカメラ群からの画像情報を取り込んで各ピクセルの色ムラや欠陥を検出する画像処理装置群とを備えたことを特徴とするカラーフィルタ検査装置。
IPC (2件)：
G01M 11/00
, G02F 1/1335 505
