超音波洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-216567
公開番号（公開出願番号）：特開平9-047733
出願日： 1995年08月03日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【課題】500kHz以上の高周波を利用した2重槽式の超音波洗浄装置における内槽内へ伝達される超音波振動の位置によるむらをなくして洗浄効果を均一にする。【解決手段】外槽1の底面に取り付けた超音波振動子3の振動周波数を中心周波数f0 に対して±5%の範囲で周期的に変化させ振動板4から放射する。ビーカ2aの底面への超音波入力8aはビーカ2a内部でf0 +5%の周波数のときイ、-5%のときロとなって振動が均一になる。

請求項（抜粋）：

500kHz〜1.5MHzの超音波振動子が底面に取り付けられた外槽と、該外槽内の超音波媒体液中に保持され底面の板厚が超音波周波数の半波長±10%で該底面が前記外槽の底面と並行する石英ガラス製の内槽とによって構成され、前記内槽中の洗浄液に浸される被洗浄物を洗浄するための2重槽構造の超音波洗浄装置において、前記超音波振動子の振動周波数を、中心周波数に対して±5%の範囲で一定の周期で繰り返し変化させたことを特徴とする超音波洗浄装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-244124
特公昭56-020076
特開昭61-101283

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