特許
J-GLOBAL ID:200903050599504497

溶射複合膜形成方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 塚本 正文 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-226507
公開番号(公開出願番号):特開平5-044009
出願日: 1991年08月12日
公開日(公表日): 1993年02月23日
要約:
【要約】【目的】 緻密な蒸着膜によって被溶射物は腐食物と遮断され腐食されることがなくなるとともに、溶射剥離の発生もなく、更に蒸着膜の上の溶射皮膜によって耐摩耗性,断熱性も十分備えている複合膜を形成する。【構成】 直流アークプラズマトーチ1に直流アークプラズマ17を発生させるとともに同プラズマトーチ1の前に配した絶縁円筒10に高周波誘導プラズマ18を発生させ、直流アークプラズマ17内に供給した溶射粉末材料の溶射粒子19を高周波誘導プラズマ18を介して被溶射物16に溶射しながら高周波誘導プラズマ18の出力を制御し、被溶射物16に蒸着膜とその上の溶射皮膜とからなる溶射複合膜を形成させる。
請求項(抜粋):
直流アークプラズマトーチに直流アークプラズマを発生させるとともに上記直流アークプラズマトーチの前に配した絶縁円筒に高周波誘導プラズマを発生させ、上記直流アークプラズマ内に供給した溶射粉末材料の溶射粒子を上記高周波誘導プラズマを介して被溶射物に溶射しながら同高周波誘導プラズマの出力を制御し、上記被溶射物に蒸着膜とその上の溶射皮膜とからなる溶射複合膜を形成させることを特徴とする溶射複合膜形成方法。
IPC (2件):
C23C 4/12 ,  C23C 16/50
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平1-203294
  • 特開平2-141565

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