特許
J-GLOBAL ID：200903050607231861
静電式アクチュエータ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松崎 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-023026
公開番号（公開出願番号）：特開平5-219760
出願日： 1992年02月10日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【目的】 静電アクチュエータの変位量を大きくする。【構成】 絶縁体3を介して分割された1対の固定電極1A,1Bを持つ固定子1に対し、複数の可動電極2A〜2Nを複数の弾性支持部材4を介して互いに連結し、隣り合う電極同士が互いに逆極性となるよう電極1A,1Bから支持部材4を経て直流電圧を印加し、各電極間に作用する静電力を利用して可動電極2を変位させる。
請求項（抜粋）：
絶縁体を介して分割された1対の固定電極を持つ固定子に対し複数の可動電極を複数の弾性支持部材を介して連結し、隣り合う電極同士が互いに異なる極性となるように各固定電極から弾性支持部材を介して電圧を印加し、各電極間に作用する静電力を利用して可動電極を変位させることを特徴とする静電式アクチュエータ。
引用特許：
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