特許
J-GLOBAL ID：200903050623461320
金属探針の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248068
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074634
出願日： 1999年09月01日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】 電解研磨により先端曲率半径10nm程度またはより小さく表面がなめらかなSTM用探針等に最適な金属探針を歩留まりよく製造する手段の開発。【解決手段】 金属探針用素材ワイヤーを垂直に立ててその一端側を電解液に浸漬して交流電解研磨することにより該ワイヤーの一端を尖鋭化する金属探針の製造方法において、電解研磨中に生じるくびれ切断前の印加電圧を、くびれ切断時の探針先端の曲率半径が100nm以下となり、かつ電解液面における該素材ワイヤーの直径が40μm以上に維持される電圧の範囲とし、くびれ切断後の該印加電圧を、くびれ切断前の印加電圧より高い電圧で、かつワイヤー先端からのアークを生じない電圧として研磨を継続し、ワイヤー先端が電解液面から離れたところで研磨を終了する。また、研磨を終了する直前に交流周波数を100〜200Hzにする。
請求項（抜粋）：
金属探針用素材ワイヤーを垂直に立ててその一端側を電解液に浸漬して交流電解研磨することにより該ワイヤーの一端を尖鋭化する金属探針の製造方法において、電解研磨中に生じるワイヤー先端くびれ切断後の印加電圧を、くびれ切断前の印加電圧より高い電圧で、かつワイヤー先端からのアークが持続的に生じない電圧として研磨を継続し、ワイヤー先端が電解液面から離れたところで研磨が終了することを特徴とする金属探針の製造方法。
IPC (3件)：
G01N 13/12
, C25F 3/16
, G01R 1/06
G01N 13/12 D
, C25F 3/16 A
, G01R 1/06 G
