特許

J-GLOBAL ID：200903050625733890

光学素子の保持機構、および該保持機構によって構成された投影光学系を備える露光装置

発明者： 入江 直樹
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-055253
公開番号（公開出願番号）：特開2001-242364
出願日： 2000年03月01日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】光学素子の形状に倣って光学素子を保持し、光学素子の変形による光学特性の劣化を防止することを可能とする光学素子の保持機構、および該保持機構によって構成された投影光学系を備える露光装置を提供する。【解決手段】光学素子を所定の場所に保持する光学素子の保持機構において、前記光学素子の形状に倣って該光学素子を保持する保持手段を構成する。

請求項（抜粋）：

光学素子を所定の場所に保持する光学素子の保持機構において、前記光学素子の形状に倣って該光学素子を保持する保持手段を有することを特徴とする光学素子の保持機構。

IPC (3件)：

G02B 7/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 7/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (7件)：

2H044AA02 ,  2H044AA15 ,  2H044AA20 ,  5F046BA03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB26 ,  5F046CB27