特許
J-GLOBAL ID：200903050643631027
トンネルスペクトロスコピー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-223867
公開番号（公開出願番号）：特開平6-068835
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 分析点の確認が高い精度で容易に行えるトンネルスペクトロスコピーを提供する。【構成】 バイアス電圧を一定の値に固定してトンネル電流が一定になるように探針を試料表面との間でZ方向に制御しながら試料表面に沿ってXY方向に移動する走査トンネル顕微鏡で探針を固定してバイアス電圧を掃引し、探針と試料表面との間に流れるトンネル電流を検出して試料の局所領域の分析を行うトンネルスペクトロスコピーにおいて、探針を指定された分析点に移動する場合に、ピエゾスキャナー5、12を通常のXY方向の走査のまま分析点まで移動させ、分析後はその点から通常走査を再開する。これにより、分析前後のトポグラフを見ることができ、ヒステリシスや熱ドリフトによるズレを少なくし、指定された分析点への位置精度を高めることができる。
請求項（抜粋）：
バイアス電圧を一定の値に固定してトンネル電流が一定になるように探針を試料表面との間でZ方向に制御しながら試料表面に沿ってXY方向に移動する走査トンネル顕微鏡で、指定された分析点で探針を固定してバイアス電圧を掃引し、探針と試料表面との間に流れるトンネル電流を検出して試料の局所領域の分析を行うトンネルスペクトロスコピーにおいて、探針を指定された分析点に移動する場合に、通常のXY方向の走査によって分析点まで移動させ、分析終了後はその分析点から通常走査を再開させるようにしたことを特徴とするトンネルスペクトロスコピー。
IPC (2件)：
引用特許：
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