感光性エレメント及びこれを用いたカラーフィルタの製造法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-185242
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013682
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】クッション層への感光性樹脂組成物層中の光重合性化合物及び光重合開始剤の移行を抑制でき、感度変動が少なく、段差が少なく、高精度のパターン生産性よく製造でき、カラーフィルターの製造に極めて好適な感光性エレメント並びにこれを用いたカラーフィルタの製造法の提供。【解決手段】支持体フィルム、クッション層及び感光性樹脂組成物層を順次積層してなる感光性エレメントにおいて、クッション層中にアルキル基を有するフッ素系化合物又はアルキル基を有するシリコン系化合物を含有させてなる感光性エレメント並びにこの感光性エレメントを感光性樹脂組成物層が、透明基板上に接するように貼り合わせる工程、支持体フィルム及びクッション層を剥離する工程並びに感光性樹脂組成物層をパターン状に露光、現像する工程を含む工程を繰り返すことにより、多色のパターンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造法。

請求項（抜粋）：

(a)支持体フィルム、(b)クッション層及び(c)感光性樹脂組成物層を順次積層してなる感光性エレメントにおいて、(b)クッション層中にアルキル基を有するフッ素系化合物又はアルキル基を有するシリコン系化合物を含有させてなる感光性エレメント。

IPC (8件)：

G03F 7/004 512 , G03F 7/004 505 , G02B 5/20 101 , G03F 7/027 502 , G03F 7/028 , G03F 7/032 , G03F 7/11 503 , G03F 7/30

FI (8件)：

G03F 7/004 512 , G03F 7/004 505 , G02B 5/20 101 , G03F 7/027 502 , G03F 7/028 , G03F 7/032 , G03F 7/11 503 , G03F 7/30

Fターム (31件)：

2H025AA00 , 2H025AB13 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC31 , 2H025BC51 , 2H025CA01 , 2H025CA20 , 2H025CA28 , 2H025CB06 , 2H025CB14 , 2H025CC12 , 2H025CC13 , 2H025DA13 , 2H025DA40 , 2H025FA04 , 2H025FA17 , 2H048BA45 , 2H048BA47 , 2H048BA48 , 2H048BB02 , 2H048BB42 , 2H096AA00 , 2H096AA28 , 2H096BA05 , 2H096CA05 , 2H096CA16 , 2H096CA20 , 2H096EA02 , 2H096EA12 , 2H096GA08

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