特許
J-GLOBAL ID：200903050648947715
薄膜の塗布製膜方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
東島 隆治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-138468
公開番号（公開出願番号）：特開平8-001076
出願日： 1994年06月21日
公開日（公表日）： 1996年01月09日
要約：
【要約】【目的】 微粉末を粘結剤と混合したペースト状材料を基板に塗布する製膜方法において、基板に亀裂等の悪影響を及ぼすことなく、膜質、機械的強度を向上する。【構成】 塗布した膜に対して音響装置を用いて非接触式で振動を与える。または、前記の振動とともに、基板に対して別の振動装置により接触式で振動を与える。
請求項（抜粋）：
微粉末と粘結剤を混合したペースト状材料を基板上に塗布する工程、および前記ペースト状材料の塗布工程中または塗布工程後に、基板および塗布されたペースト状材料の少なくとも一方に、音響装置を用いて非接触で振動を与える工程を有することを特徴とする薄膜の塗布製膜方法。
IPC (3件)：
B05D 3/12
, B22F 7/04
, H01L 31/04
