特許

J-GLOBAL ID：200903050653001579

静電容量型隔膜真空計及び真空処理装置

発明者： 宮下 治三
出願人/特許権者： キヤノンアネルバテクニクス株式会社
代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-057090
公開番号（公開出願番号）：特開2009-258088
出願日： 2009年03月10日
公開日（公表日）： 2009年11月05日
要約：

【課題】 静電容量型隔膜真空計が設置される測定環境、すなわち大気圧及び温度変動に対する静電容量型隔膜真空計の出力変動を低減させ、より高精度で再現性よく圧力を測定すること。【解決手段】 圧力が測定される内部領域に面して配置されるダイヤフラムと、このダイヤフラムと対向して配置される検出電極とを有し、ダイヤフラムと検出電極との間に生じる静電容量の変化量を測定することで内部領域の圧力を測定する静電容量型隔膜真空計は、静電容量型隔膜真空計が設置されている外部の温度を測定する温度測定部と気圧を測定する気圧測定部とを備え、この測定結果に基づき、ダイヤフラムと検出電極との間に生じる静電容量の変化量を補正して、内部領域の圧力として出力する。【選択図】 図1A

請求項（抜粋）：

圧力が測定される内部領域に面して配置されるダイヤフラムと該ダイヤフラムと対向して配置される検出電極とを有し、該ダイヤフラムと検出電極との間に生じる静電容量の変化量を測定することで前記内部領域の圧力を測定する静電容量型隔膜真空計において、 前記静電容量型隔膜真空計が設置されている外部の環境温度を測定するための温度測定手段と、 前記静電容量型隔膜真空計が設置されている外部の環境気圧を測定する気圧測定手段と、 前記環境温度と、前記環境気圧と、予め測定され記憶手段に格納されている複数の静電容量の情報のうち少なくとも一つの情報と、から前記静電容量型隔膜真空計が設置されている外部環境に対応した静電容量の情報を補間演算する演算手段と、 前記測定された静電容量と、前記補間演算された静電容量とを比較して、当該比較の結果に基づいて前記測定された静電容量を補正する静電容量補正手段と、 予め測定され前記記憶手段に格納されている電圧と圧力とを対応付けるための出力特性を、前記環境気圧に基づいて補正する出力特性補正手段と、を備え、 前記静電容量補正手段は、補正された前記静電容量に対応する電圧を演算し、 前記出力特性補正手段は、補正された前記出力特性に基づいて、前記静電容量補正手段により演算された前記電圧に対応する圧力を前記内部領域の圧力として出力することを特徴とする静電容量型隔膜真空計。

IPC (1件)：

G01L 9/12

FI (1件)：

G01L9/12

Fターム (9件)：

2F055AA11 ,  2F055BB08 ,  2F055CC02 ,  2F055DD20 ,  2F055EE25 ,  2F055FF02 ,  2F055FF23 ,  2F055GG32 ,  2F055GG36