気密検査方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平山一幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-055286
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265435
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】装置構成が比較的簡単で、且つ検査精度を向上し得る気密検査方法及び装置を提供する。【構成】被検体3をシーリング状態でチャンバ2内の所定位置にセットして、チャンバ2内をクリーニングした後、被検体3内に気体を封入して、差圧漏れ検査を行い、この封入気体を再び排気する工程と、被検体3内にヘリウムガス及び空気を所定圧力で封入・混合する工程と、チャンバ2内の試料ガスを一定時間、拡散・攪拌する工程と、その試料ガスをチャンバ2から試料チャージタンク17へ採取する際、試料チャージタンク17を真空引きする工程と、試料ガスがチャージされた試料チャージタンク17からHe-リークディテクタ21へその試料ガスを導入する工程と、を有している。

請求項（抜粋）：

被検体をシーリング状態でチャンバ内の所定位置にセットして、上記チャンバ内をクリーニングした後、上記被検体内に気体を封入して、差圧漏れ検査を行い、この封入気体を再び排気し、次いで、上記被検体内にヘリウムガス及び空気を所定圧力で封入・混合し、上記チャンバ内の試料ガスを一定時間、拡散・攪拌し、その試料ガスを上記チャンバから試料チャージタンクへ採取する際、該試料チャージタンクを適宜真空引きし、その後、試料ガスがチャージされた試料チャージタンクからHe-リークディテクタへその試料ガスを導入するようにしたことを特徴とする気密検査方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭59-061738
特開昭56-143940

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