特許
J-GLOBAL ID：200903050657940235
高周波用コイルおよびその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-195241
公開番号（公開出願番号）：特開平5-041321
出願日： 1991年08月05日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：
【要約】【目的】 薄膜トランス等のコイルにおいて、コイルの電流方向に垂直な表面積を大きくしてQ値を高めるとともに、コイル断面のアスペクト比を高くして高密度配置を可能にする。【構成】 コイル11の断面形状を凹状にして電流方向に垂直な表面積を大きくする。このようなコイル11を作製するためにフォトレジスト12でマスクパターンを作製する際に、コントラスト増強剤を用いて、レジスト層の上から基板面に到るまで露光を均一にする。これにより、フォトレジスト12の高さを高くできるようにしてコイル高さを高くできるようにし、アスペクト比を高める。
請求項（抜粋）：
導線の電流方向断面が凹状であることを特徴とする高周波用コイル。
IPC (4件)：
H01F 17/00
, H01F 5/00
, H01F 19/00
, H01F 41/04
