特許
J-GLOBAL ID:200903050681785070
圧電セラミックの製法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-092507
公開番号(公開出願番号):特開平7-097260
出願日: 1994年04月28日
公開日(公表日): 1995年04月11日
要約:
【要約】【目的】 著しく均一なジルコニウム/チタン比で得られる、安価な圧電セラミックの製法。【構成】 水熱法によって得られた、異なるx値を有する式:ZrxTi1-xO2で示される2種の中間化合物(ZTO)から、任意のジルコニウム/チタン比を有するセラミックを得、酸化鉛及び場合によってはドーピング物質と混合し、か焼によってPZT粉末に変換し、引き続き、正確に結晶型変形相境界に調整可能である高密度PZTセラミックに焼結する。
請求項(抜粋):
式:Pb(Zr<SB>x</SB>Ti<SB>1-x</SB>)O<SB>3</SB>〔式中、0<x<1である〕で示されるPZTセラミックを製造する方法において、a) 式:Zr<SB>y</SB>Ti<SB>1-y</SB>O<SB>2</SB>〔式中、(x+1%)≦y≦(x+3%)である〕で示される第1の中間化合物を水熱法によって得、b) 式:Zr<SB>z</SB>Ti<SB>1-z</SB>O<SB>2</SB>〔式中、(x-3%)≦z≦(x-1%)である〕で示される第2の中間化合物を工程a)の場合と同様にして得、c) 第1の中間化合物及び第2の中間化合物を酸化鉛PbOと一緒にa:b:1の比で磨砕し、この場合、a+b=1かつx=a・y+b・zであり、d) 得られた混合物をPZT粉末にか焼かつ変換し、e) 該PZT粉末から成形体を得、f) 該成形体をPZTセラミックに焼結することを特徴とする、圧電セラミックの製法。
IPC (2件):
FI (2件):
C04B 35/49 A
, H01L 41/22 A
引用特許:
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