エッチング補正パターン作成装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高矢諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-011122
公開番号（公開出願番号）：特開平9-205170
出願日： 1996年01月25日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】特別な経験がない者でも、高精度なエッチング補正パターンを簡単に自動作成できるエッチング補正パターン作成装置を提供する。【解決手段】製品設計寸法パターンのCADデータに補正代を加算して補正データを作成し、それを原型とするレジストパターンをマスクに、エッチング加工して作成された現物パターンを高精度で画像入力し、現物パターンと、CADデータ及び補正データとを照合し、補正データ上に複数の検査ポイントを、CADデータ上に対応する副検査ポイントを、それぞれ設定し、検査ポイントに対応する現物パターンの輪郭上の点を算出し、輪郭上の点を始点、検査ポイントを終点とするベクトルを発生させ、該ベクトルを、始点が副検査ポイントに一致する位置に、平行移動させ、その終点を利用して新たな補正データを作成するための各手段を備えた。

請求項（抜粋）：

製品設計寸法パターンのCADデータに補正代を加算して、レジストパターンの原型となる補正データを作成する手段と、該補正データを原型とするレジストパターンをマスクに、エッチング加工して作成された現物パターンを画像入力する手段と、入力された現物パターンの画像データと、CADデータ及び補正データとを、対応する基準点を一致させて重ね合せて照合する手段と、照合状態下で、CADデータ上又は補正データ上に設定されている検査ポイントに対応する現物パターンの画像データの輪郭上の点を算出する手段と、算出された輪郭上の点を始点とし、対応する補正データ上の検査ポイントを終点とするベクトルを発生させる手段と、発生させたベクトルを、その始点が対応するCADデータ上の検査ポイントに一致する位置に、平行移動させる手段と、平行移動後の各ベクトルの終点を利用して、次回レジストパターン作成用の新たな補正データを作成する手段と、を備えていることを特徴とするエッチング補正パターン作成装置。

IPC (5件)：

H01L 23/50 , C23F 1/00 102 , G06F 17/50 , H01L 21/306 , H05K 3/06

FI (5件)：

H01L 23/50 A , C23F 1/00 102 , H05K 3/06 D , G06F 15/60 658 M , H01L 21/306 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

パターン作成方法、及びパターン作成システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-210892 出願人：株式会社ニコン
先端切除型リードフレームの製造方法及び先端切除型リードフレーム
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-341006 出願人：凸版印刷株式会社
フォトプリントパターンの強化方式
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-062265 出願人：富士通株式会社

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