特許
J-GLOBAL ID：200903050689986865
走査型プローブ顕微鏡の試料ホルダー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-317849
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160742
出願日： 1996年11月28日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】励振成分とサーボ成分が分離されたACモードの走査型プローブ顕微鏡を実現する試料ホルダーを提供する。【構成】試料ホルダーは、金属やセラミックスで作られた二つのホルダー枠12と14を有している。これらのホルダー枠12と14は二つの連結部材16により互いに連結されている。連結部材16は、図にはネジとして描かれているが、バネやその他であってもよい。ホルダー枠14の内側にはゴムからなる振動絶縁部材18が設けられている。また、ホルダー枠12の内側には、ゴムからなる振動絶縁部材20を介して、圧電バイモルフ22の一端が固定されており、他端には、スライドガラスに振動を伝達するための部材24が設けられている。振動絶縁部材18と20には、ゴムの他に、音響インピーダンスがガラスや金属と著しく異なる樹脂などを用いてもよい。
請求項（抜粋）：
ステージ上に載置されたスライドガラスとその上に載せられたOリングとで作られた空間に収容された溶液中の試料を観察する走査型プローブ顕微鏡の試料ホルダーであり、スライドガラスをステージから浮かして支持する手段と、スライドガラスを振動させるアクチュエーターと、スライドガラスの振動のステージへの伝達を防止する手段とを有している試料ホルダー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
