特許

J-GLOBAL ID：200903050690545791

磁気記録媒体形成用スパッタリングターゲット材および磁気記録媒体

発明者： 村田 英夫
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-075014
公開番号（公開出願番号）：特開2001-262327
出願日： 2000年03月17日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】 高い記録密度に対応できる面内、垂直の両方式でも高い磁気特性、低ノイズ、記録安定性に優れた磁気記録媒体の製造するためターゲット材と磁気記録媒体を提供する。【解決手段】 Co100-x-y-zNix1Ptx2CryBzで示され、x=x1+x2、x1が11〜30at%、x2が8〜30at%、xが25at%以上、yが16〜28at%、zが2〜10at%でかつ(y+z)が20at%以上の組成の磁気記録媒体形成用スパッタリングターゲット材。このターゲット材を用いてターゲット材と同一組成の磁性膜をもつ磁気記録媒体。

請求項（抜粋）：

組成がCo100-x-y-zNix1Ptx2CryBzで示され、x=x1+x2、x1が11〜30at%、x2が8〜30at%、xが25at%以上、yが16〜28at%、zが2〜10at%でかつ(y+z)が20at%以上を満たすことを特徴とする磁気記録媒体形成用スパッタリングターゲット材。

IPC (4件)：

C23C 14/34 ,  C22C 19/07 ,  G11B 5/64 ,  G11B 5/851

FI (4件)：

C23C 14/34 A ,  C22C 19/07 M ,  G11B 5/64 ,  G11B 5/851

Fターム (14件)：

4K029BA24 ,  4K029BD11 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC08 ,  5D006BB04 ,  5D006DA03 ,  5D006EA03 ,  5D006FA09 ,  5D112AA05 ,  5D112AA24 ,  5D112BB05 ,  5D112FA04 ,  5D112FB06