同軸円筒型2次電子引き込み電極及びその電極の調整方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-104260
公開番号（公開出願番号）：特開平11-297261
出願日： 1998年04月15日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】試料表面から引き込み電極先端までの距離を十分長くし、電極の形状を簡素化するとともに、引き込み能力を向上させることができる同軸円筒型2次電子引き込み電極及びその電極の調整方法を提供する。【解決手段】 2次電子を引き込むための同軸円筒型の開口径の大きなシールド電極2と、電子引き込み電極3とを設けるとともに、2次電子の引き込み口に配置される第1アパーチャ4とこの第1アパーチャ4の後方に配置される第2アパーチャ6とを有し、前記アインツェルレンズ5は前記第1アパーチャ4と第2のアパーチャ6間に配置し、前記第1のアパーチャ4は電子線の焦点位置に設置し、エネルギーの高い2次電子や散乱電子などの進入を阻止し、前記アインツェルレンズ5は前記第1アパーチャ4の位置で集束した電子線がその後適度に広がった位置に設置し、前記第2アパーチャ6は余分な電子の進入を阻止するためにアインツェルレンズ5の後方に設置する。

請求項（抜粋）：

2次電子をモット検出器に引き込むための同軸円筒型2次電子引き込み電極において、(a)2次電子を引き込むための同軸円筒型の開口径の大きな2つの電極と、(b)余分な電子を除去するアパーチャと、(c)電子線を集束させるアインツェルレンズとを具備することを特徴とする同軸円筒型2次電子引き込み電極。

引用特許：

出願人引用 (8件)

特公昭45-006640
特開平3-020949
特開平4-298948

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審査官引用 (8件)

特開平3-020949
走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-195212 出願人：日本電子株式会社
特開平4-298948

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